（1）主要優(yōu)點(diǎn)

流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)：對(duì)于多數(shù)流量測控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對(duì)于普通的流量計(jì)，壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差；對(duì)于質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略不計(jì)。

測量控制的自動(dòng)化：質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器可以將流量測量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動(dòng)計(jì)量﹑數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄﹑計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)質(zhì)量流量控制器而言，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常,模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為0~+5V或4~20mA,數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口,能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接,進(jìn)行自動(dòng)控制。

精確地定量控制流量：質(zhì)量流量控制器可以精確地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過程的流量控制﹑對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。

（2）MFC工作壓差范圍

質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門,閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程,在工作的過程當(dāng)中,控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降,即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa,若壓差低于低值(0.1MPa),有可能控制達(dá)不到滿量程值;若高于高值(0.3MPa),有可能關(guān)閉時(shí)流量不能小于2%FS。用戶使用MFC時(shí),無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓,應(yīng)做到使MFC進(jìn)出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi), 并且要求氣壓要相對(duì)穩(wěn)定。

（3）MFC在高壓下如何使用

質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小,要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點(diǎn):一,是要選擇耐壓符合要求的MFC;二,是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號(hào);三,要在MFC氣路前面加減壓閥,穩(wěn)定入口氣壓,在MFC下游加背壓閥,穩(wěn)定反應(yīng)室和MFC出口的氣壓,適當(dāng)調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥,要保證MFC的工作壓差不會(huì)超過規(guī)定的范圍。只要做到以上三點(diǎn),MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。

（4）MFC/MFM如何改氣體和量測

更改MFM/MFC量程需要更換分流器閥口等部件,還要進(jìn)行量程標(biāo)定,因此用戶不能自己更改氣體、量程。當(dāng)然國外進(jìn)口品牌，也有多量程多氣體型的質(zhì)量流量控制器，支持用戶現(xiàn)場更改，不過價(jià)格非常高昂。

改量程一般應(yīng)在生產(chǎn)廠或指定維修站進(jìn)行。如果您覺得量程沒選好，應(yīng)與供貨商和廠家聯(lián)系。

改MFM/MFC量程時(shí),還要注意您的流量顯示儀是否也要調(diào)整。如果流量是按百分比方式顯示的，則顯示儀不用改動(dòng)；如果流量是按SCCM或SLM顯示的，則一般需對(duì)流量顯示儀進(jìn)行調(diào)整，以適應(yīng)新的流量量程。也可以不調(diào)整流量顯示儀，只對(duì)流量顯示值乘以一個(gè)修正系數(shù)進(jìn)行修正:修正系數(shù)=新滿量程值/原滿量程值。

改流量顯示儀的問題，請(qǐng)仔細(xì)閱讀有關(guān)流量顯示儀的說明書, 如果有改量程的說明,可自己按要求更改。若沒有說明,請(qǐng)和廠家聯(lián)系。

（5）MFC/MFM使用注意事項(xiàng)

注意閱讀產(chǎn)品說明書及有關(guān)資料。

注意輕拿輕放妥善保管。

MFM/MFC比較精密，應(yīng)避免受到撞擊和強(qiáng)烈振動(dòng)。產(chǎn)品不用時(shí)注意放在較好的環(huán)境中妥善保管。

注意系統(tǒng)設(shè)計(jì)：

用戶購買MFM/MFC后，往往要組建一個(gè)系統(tǒng)。建議在系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)，不要僅僅考慮功能的實(shí)現(xiàn)，還要考慮系統(tǒng)的可靠性﹑安全性﹑易操作性﹑易維護(hù)性﹑易擴(kuò)充性等因素。以下給出幾點(diǎn)具體建議：

A.注意加裝過濾器，以凈化氣源，延長MFM/MFC的使用壽命。

B.對(duì)于反應(yīng)系統(tǒng)，建議在MFC的出氣端加裝單向閥，以防止異常情況下反應(yīng)物倒流損壞MFC。

C.對(duì)于高壓系統(tǒng)，應(yīng)在MFC的下游加裝背壓閥（或其它節(jié)流裝置）及壓力表，以便于保證MFC的工作壓差。

D.對(duì)于硅烷這樣的遇空氣易形成結(jié)晶的氣體，應(yīng)特別注意系統(tǒng)的密閉性（檢漏時(shí)不要忽視減壓器），必要時(shí)設(shè)計(jì)吹洗旁路，隨時(shí)進(jìn)行氮?dú)獯迪椿蛘龎罕３帧?/p>

E.對(duì)于要求比較高的氣路系統(tǒng),注意氣路接頭盡量減少并采用VCR等接頭。對(duì)于使用有害氣體的系統(tǒng)，必須嚴(yán)格檢漏。氣路柜應(yīng)有排風(fēng)系統(tǒng),防止對(duì)人員和設(shè)備的損傷。

F.有高頻源的系統(tǒng)應(yīng)注意屏蔽并特別注意處理好接地問題，例如采用單點(diǎn)接地。

G.MFM/MFC的安裝位置應(yīng)易于裝卸﹑檢測﹑調(diào)零，并安全可靠。

H.對(duì)可靠性要求的系統(tǒng)，應(yīng)注意冗余設(shè)計(jì)。

注意正確使用操作：

對(duì)于比較復(fù)雜的系統(tǒng)或使用有害氣體的系統(tǒng)，應(yīng)當(dāng)制定的安全操作規(guī)程, 防止發(fā)生誤操作。

注意使用氣體與流量計(jì)的密封材料相適應(yīng)：

流量計(jì)通常采用的密封材料是氟橡膠，能適合大多數(shù)氣體的使用，包括HCL這樣的強(qiáng)腐蝕性氣體。但對(duì)于氨氣，必須使用耐氨橡膠；對(duì)于有機(jī)溶劑類氣體，如丙酮、甲苯等，必須使用硅橡膠；對(duì)于使用三氯化硼、三溴化硼等強(qiáng)腐蝕性介質(zhì)，必須使用四氟密封或金屬密封的流量計(jì)。用戶在訂貨和使用中必須特別注意。

注意定期標(biāo)定：

質(zhì)量流量計(jì)原則上應(yīng)當(dāng)定期標(biāo)定。