MFC330 系列氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器，其結(jié)構(gòu)包含毛細(xì)管柱式流量傳感器、旁路分流系統(tǒng)、高精度比例閥和控制系統(tǒng)。

被測(cè)氣體進(jìn)入后，先通過(guò)傳感器和旁路分流系統(tǒng)。由傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量氣體流量、高精度比例閥動(dòng)態(tài)響應(yīng)快速調(diào)節(jié)氣體流量至設(shè)定值。測(cè)量與調(diào)節(jié)流量的閉環(huán)結(jié)構(gòu)，即使環(huán)境溫度變化或進(jìn)出口氣壓波動(dòng)，MFC330 依然能夠保持穩(wěn)定的流量控制。

主要參數(shù)

介質(zhì)要求  潔凈干燥氣體

氣體種類 98+氣體可選

量程  0-2，10，20，50，100，300，500 sccm

0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm

測(cè)量范圍  0.5%F.S.（1:200）

控制范圍  1%-100% FS.（1:100）

準(zhǔn)確度  ±1% F.S.

重復(fù)精度  ±0.2%F.S.

線性度  ±0.2%F.S.

控制響應(yīng)時(shí)間  <3 秒

預(yù)熱時(shí)間  5 min（T95），30 分鐘最佳

閥門  常閉式

蘇州愛(ài)拓利是國(guó)內(nèi)極少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質(zhì)量流量計(jì)和氣體質(zhì)量流量控制器的企業(yè)。其產(chǎn)品的核心部件毛細(xì)管柱式傳感器和高精度微型氣體比例閥均已實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化、自研自制率100%、全制程自主可控，其性能趕超進(jìn)口同類產(chǎn)品。愛(ài)拓利目前已為多家重點(diǎn)大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、科研院所、精密分析儀器廠家、生物制藥廠家及、環(huán)保設(shè)備及光電設(shè)備廠商提供流量計(jì)/控制器的軟硬件配套產(chǎn)品。通過(guò)廣泛的應(yīng)用，愛(ài)拓利流量計(jì)產(chǎn)品的先進(jìn)性、重復(fù)性和穩(wěn)定性得到了充分的驗(yàn)證。愛(ài)拓利的愿景是成為一家在流體測(cè)控領(lǐng)域具有影響力的創(chuàng)新型企業(yè)。我們專注于擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、純國(guó)產(chǎn)化的核心零部件的開(kāi)發(fā)，以期打破進(jìn)口產(chǎn)品的技術(shù)壟斷，擺脫對(duì)進(jìn)口品牌的依賴，大力提升先進(jìn)制程和科學(xué)儀器中國(guó)產(chǎn)化替代水平和應(yīng)用規(guī)模，致力于早日打造出高品質(zhì)且性能可靠的流體測(cè)控產(chǎn)品，為解決我國(guó)基礎(chǔ)科學(xué)及先進(jìn)制程領(lǐng)域所面臨的“卡脖子"困境貢獻(xiàn)一份綿薄之力。