氣體種類： 90+種氣體可選

測量范圍： 0.5%F.S. – 1 00% F.S. (1:200)

控制范圍;： 1%F.S. – 1 00% F.S. (1:100)

準(zhǔn)確度： 0.5% F.S.

工作壓差： 0-1 MPa

耐壓： 3 MPa

控制響應(yīng)時(shí)間 <1 s

閥門類型: 常閉閥

預(yù)熱時(shí)間： 5 min（T95)

量程范圍： 0-2 sccm…200slpm

顯示屏： 內(nèi)置/外接顯示屏可選

標(biāo)況: 20℃（可設(shè)置）， 1atm

通訊方式： 0-5Vdc, 4-20mA, RS485, RS232, CAN, EtherCat

蘇州愛拓利坐落于長三角經(jīng)濟(jì)圈核心腹地、蘇州吳江半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集聚核心區(qū)位，地處吳江區(qū)柳胥路 99 號(hào)半導(dǎo)體智能制造創(chuàng)新港，緊鄰蘇州南站、毗鄰上海虹橋綜合交通樞紐，區(qū)位、交通四通八達(dá)。

園區(qū)總建筑面積111764.05 平方米。企業(yè)深耕氣體質(zhì)量流量測控領(lǐng)域，致力打造科技創(chuàng)新策源地、新舊動(dòng)能轉(zhuǎn)換主力軍、新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展企業(yè)，歷經(jīng)多年深耕積淀，產(chǎn)業(yè)規(guī)模與綜合實(shí)力已蔚然成型。

同時(shí)作為國內(nèi)MFC 氣體質(zhì)量流量計(jì)核心自研智造企業(yè)，立足長三角科創(chuàng)產(chǎn)業(yè)高地，深耕精密流量測控技術(shù)攻關(guān)，是行業(yè)突破卡脖子技術(shù)、實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體精密儀器國產(chǎn)替代的核心骨干力量。